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W-380A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)
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鉑世光（上海）技術有限公司
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W-380A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)
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裂縫耦合微波等離子體沉積系統(tǒng)
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拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
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拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
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915MHz微波等離子體沉積系統(tǒng)(裂縫天線耦合)
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W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)
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熱絲化學氣相沉積設備
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化學氣相沉積設備
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MPCVD 6KW碟形腔
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成都晶柱科技（成都）有限公司
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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF450
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北京泰科諾科技有限公司
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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF600
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多功能磁控離子濺射復合鍍膜機TSU650
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北京泰科諾科技有限公司
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微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— C型
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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF700
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HVPE氣相外延
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熱絲CVD金剛石膜沉積設備HF1200
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微波等離子體化學氣相沉積系統(tǒng)（MPCVD)
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微波等離子化學氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng) —— B型
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水平離子濺射鍍膜機
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杰萊特（蘇州）精密儀器有限公司
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YX-11A晶棒參考面定向儀（OF）
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