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W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

直接聯(lián)系

鉑世光（上海）技術(shù)有限公司

上海

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

鉑世光

型號：

W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

關(guān)注度：

197

產(chǎn)品介紹

系統(tǒng)特點(diǎn)：

·采用方位換向?qū)ΨQ方式微波耦合，來提高微波的均勻性

·穩(wěn)定沉積面積20cm²

·**功率達(dá)到6KW

·使用純凈的石英窗

·采用不銹鋼反應(yīng)腔，能耐高溫

·高壓力控制，產(chǎn)生高密度單模式等離子體

·使用高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)，高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng)

·穩(wěn)定的微波輸入

應(yīng)用：

·寶石

·復(fù)合熱沉片

·精密加工刀具刀頭

·紅外光學(xué)窗口

·量子傳感器/NV色心量子器件

·功率電子器件

·高增益激光器

·高純電化學(xué)電極

·納米金剛石材料

·第四代半導(dǎo)體材料

產(chǎn)品咨詢

W-150A/B-6K 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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