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15KW碟型腔4英寸單晶多晶生長直徑的MPCVD設(shè)備，101顆7*7mm晶種

微波功率調(diào)節(jié)連續(xù)平緩，沉積溫度可以連續(xù)穩(wěn)定變化。

沉積反應(yīng)室的結(jié)構(gòu)調(diào)整，沉積腔中產(chǎn)生大面積又穩(wěn)定的等離子體球可以大面積均勻沉積。

適應(yīng)不同尺寸和形狀的襯底，較高的靈活性,通過調(diào)整工藝參數(shù)，如高硬度、高熱導率、高透光性等。

通過升級或擴展來實現(xiàn)更大規(guī)模的生產(chǎn),提高了設(shè)備的利用率和****率。