粉體行業(yè)在線展覽
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拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
直接聯(lián)系
杭州晶馳機(jī)電科技有限公司
浙江
面議
杭州晶馳
拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
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該設(shè)備為微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（MWCVD）。采用2.45GHz頻率微波源，激發(fā)穩(wěn)定的等離子體。電場激發(fā)模式為TM021模式，該系統(tǒng)可以穩(wěn)定生長金剛石單晶材料、多晶晶圓。
DRY-60A型熱處理爐（電動）
水平雙腔外延爐
單腔立式外延爐
第二代碳化硅晶片腐蝕清洗設(shè)備
915MHz微波等離子體沉積系統(tǒng)(裂縫天線耦合)
裂縫耦合微波等離子體沉積系統(tǒng)
拋物面環(huán)形天線微波等離子體沉積系統(tǒng)
小圓柱式微波等離子體沉積（CVD）系統(tǒng)
XRD-晶向定位
CVD 真空化學(xué)氣相沉積設(shè)備
自動劃片機(jī)
BTF-1200C-RTP-CVD
HSE系列等離子刻蝕機(jī)
