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水平雙腔外延爐

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杭州晶馳機(jī)電科技有限公司

浙江

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

參考報(bào)價(jià)：

面議

品牌：

杭州晶馳

型號(hào)：

水平雙腔外延爐

關(guān)注度：

188

產(chǎn)品介紹

產(chǎn)品詳情

1、水平雙腔布置,硬件成本低于兩臺(tái)單腔外延爐;

2、雙腔工藝和維護(hù)獨(dú)立,實(shí)現(xiàn)不停機(jī)連續(xù)生產(chǎn)；

3、兼容4/6寸晶圓外延生長(zhǎng),外延層質(zhì)量?jī)?yōu)異;

4、全自動(dòng)上下料，釋放人工成本;

產(chǎn)品咨詢

水平雙腔外延爐

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水平雙腔外延爐 - 188

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