粉體行業在線展覽
微波等離子體源
面議
成都華宇
微波等離子體源
315
性能特點:
?是具有高度靈活性的微波等離子發生器 ?可以有效應用在各種精密復雜的科研實驗中 ?對于表面凈化、超細清洗和表面活化及實時樣品制備的分析方法多樣化應用 ?是廣泛的操作范圍內的氣體流量和微波功率等不可缺少的先決條件 |
主要技術參數:
輸出功率 | 260W - 1500W |
極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
氣體質量流量控制 | 多路 |
MPCVD設備培育的CVD晶種
高穩定程控微波源
高穩定程控微波源、微波傳輸系統
微波等離子體火炬(MPT)
微波等離子體源
電子回旋共振等離子體(ECR)系統
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統 —— C型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統B型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統