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電子回旋共振等離子體(ECR)系統

電子回旋共振等離子體(ECR)系統

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成都華宇微波技術有限公司

四川

產品規格型號
參考報價:

面議

品牌:

成都華宇

型號:

電子回旋共振等離子體(ECR)系統

關注度:

361

產品介紹

性能特點:

?具有無熱陰極、電離度高的特點

?具有可忽略放電室壁的散射的特性

?能在低真空度下工作

?設備性能穩定,使用壽命長


主要技術參數:

微波源輸出功率

260W - 1500W
極限真空度≤5×10-5Pa·m3/s
氣體質量流量控制多路
工作氣壓1Pa - 200Pa
磁場強度0 - 1000高斯可調
偏壓0V - 300V


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電子回旋共振等離子體(ECR)系統

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