粉體行業在線展覽
電子回旋共振等離子體(ECR)系統
面議
成都華宇
電子回旋共振等離子體(ECR)系統
361
性能特點:
?具有無熱陰極、電離度高的特點 ?具有可忽略放電室壁的散射的特性 ?能在低真空度下工作 ?設備性能穩定,使用壽命長 |
主要技術參數:
微波源輸出功率 | 260W - 1500W |
極限真空度 | ≤5×10-5Pa·m3/s |
氣體質量流量控制 | 多路 |
工作氣壓 | 1Pa - 200Pa |
磁場強度 | 0 - 1000高斯可調 |
偏壓 | 0V - 300V |
MPCVD設備培育的CVD晶種
高穩定程控微波源
高穩定程控微波源、微波傳輸系統
微波等離子體火炬(MPT)
微波等離子體源
電子回旋共振等離子體(ECR)系統
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統 —— C型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統B型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統