粉體行業在線展覽
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統
面議
成都華宇
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統
396
性能特點:
?**功率達到6kW ?微波反應腔新型設計,功率密度大 ?產品沉積速率快、沉積質量高 ?采用水冷全金屬腔體 ?采用高效散熱的樣品臺 ?設備安全性高、耐用性高、可靠性強 ?多參數實時監測,PLC屏幕控制,簡捷的人機交互界面 |
MPCVD設備培育的CVD晶種
高穩定程控微波源
高穩定程控微波源、微波傳輸系統
微波等離子體火炬(MPT)
微波等離子體源
電子回旋共振等離子體(ECR)系統
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統 —— C型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統B型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統