粉體行業在線展覽
微波等離子體火炬(MPT)
面議
成都華宇
微波等離子體火炬(MPT)
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性能特點:
?高效,可以在短時間內產生高密度等離子體 ?可通過調節微波功率和氣體流量等參數來控制等離子體的密度和溫度 ?可反復使用,不會對環境造成污染 ?可應用于表面改性、涂層制備、清洗等 |
主要技術參數:
微波源輸出功率 | 500W - 5000W |
工作氣壓 | 常壓 |
氣體介質 | 無選擇 |
等離子炬焰 | 長300mm ,直徑30mm |
等離子氣體溫度 | >3000℃ |
MPCVD設備培育的CVD晶種
高穩定程控微波源
高穩定程控微波源、微波傳輸系統
微波等離子體火炬(MPT)
微波等離子體源
電子回旋共振等離子體(ECR)系統
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統 —— C型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統B型
微波等離子化學氣相沉積(MPCVD)系統