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MDPinline ingot晶錠在線面掃檢測(cè)儀

直接聯(lián)系

弗萊貝格儀器（上海）有限公司

德國(guó)

產(chǎn)品規(guī)格型號(hào)

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942

產(chǎn)品介紹

MDPinline ingot系統(tǒng)是世界上*快的多晶硅晶錠電學(xué)參數(shù)特性測(cè)量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測(cè)試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時(shí)間里測(cè)量其四面。所有的圖譜(壽命，光電導(dǎo)率，電阻率)都是同時(shí)測(cè)量的。

該系統(tǒng)包括一個(gè)數(shù)據(jù)庫(kù)和統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)評(píng)估，可用于自動(dòng)確定精確的切割位置，以提高成品率。用于材料質(zhì)量監(jiān)控，爐選擇和工藝改進(jìn)。

性能

無接觸破壞的半導(dǎo)體特性

少數(shù)載流子壽命的檢測(cè)能力

先進(jìn)的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化

自動(dòng)切割標(biāo)準(zhǔn)定義

獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測(cè)量

完全自動(dòng)化的內(nèi)聯(lián)集成

對(duì)太陽能級(jí)硅錠進(jìn)行掃描，1mm分辨率

測(cè)量時(shí)間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描，可自動(dòng)測(cè)量所有4個(gè)面

Automated determination of cut off criteria

優(yōu)勢(shì)

先進(jìn)光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測(cè)的世界記錄。
在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測(cè)試，同時(shí)可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的
線掃描測(cè)試。客戶定義的切割標(biāo)準(zhǔn)可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫(kù)，該數(shù)據(jù)庫(kù)允許對(duì)下一代光伏晶圓廠進(jìn)行完全自動(dòng)化的材料監(jiān)控。
對(duì)爐料進(jìn)行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測(cè)，并進(jìn)行失效分析。特殊的“underneath the surface”測(cè)量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。
Recognition of cracks， chunks etc. Automated cut criteria definition， lifetime map

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MDPinline ingot晶錠在線面掃檢測(cè)儀

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性能

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