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DDCOM臺式晶體定向儀

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弗萊貝格儀器(上海)有限公司

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1388

產(chǎn)品介紹

超高速Omega掃描方法

  • 比Theta掃描方法快200倍

  • 自動評估三維完整的晶格方向

  • 在5秒內(nèi)測定整個晶體的方位

緊湊,用戶友好和成本效益

  • 易于移動和輕量級的桌面設(shè)計(jì)

  • 樣品處理方便,操作方便

  • 空氣冷卻x射線管能耗低,運(yùn)行成本低(無需水冷)

有效的質(zhì)量控制流程

  • 用于標(biāo)準(zhǔn)研究和工業(yè)工作流程

  • 晶體方位設(shè)定及標(biāo)示

  • 預(yù)編程立方晶體參數(shù)

  • 先進(jìn)方便的軟件

  • 精度高,例如高至(1/100)°

控制切割、研磨和拋光

  • 單晶的完全晶格取向

  • 適用于各種尺寸和重量范圍大的獨(dú)特材料,如:2-12英寸的晶圓片和20公斤以下的晶錠

特點(diǎn)

  • 確定單晶的完全晶格取向

  • 使用Omega掃描方法的超高速晶體定位測量

  • 立方晶體任意未知取向的測定

  • 特別設(shè)計(jì)用于點(diǎn)陣方向的方位設(shè)置和標(biāo)記

  • 氣冷式x射線管,無需水冷

  • 適合于研究和生產(chǎn)質(zhì)量控制

可測量材料的例子

  • 立方/任意未知方向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP

  • 立方/特殊取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3

  • 正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4

  • 六方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英),Al2O3(藍(lán)寶石),GaPO4, La3Ga5SiO14

  • 斜方晶系:Mg2SiO4 NdGaO3

  • 可根據(jù)客戶的要求進(jìn)一步選料

    在5秒內(nèi)一次旋轉(zhuǎn)中被捕獲

DDCOM的應(yīng)用

平面方向的標(biāo)記和測量

Omega掃描能夠在一次測量中確定完整的晶體方位。因此,平面方向可以直接識別。這是一個有用的功能,以標(biāo)記在平面方向或檢查方向的單位或缺口。

在晶圓片的注入和光刻過程中,平面或凹槽作為定位標(biāo)記。經(jīng)過加工后,晶圓片攜帶數(shù)百個芯片,需要通過切割將其分離。

晶片必須正確地對準(zhǔn)晶圓片上易于切割的晶格面。因此,檢查平臺或缺口的位置是必要的。為了確定平面或缺口的位置,必須測量平面內(nèi)的部件。

該儀器通過旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤,可以將任何平面方向轉(zhuǎn)換成用戶指定的特定位置。這簡化了將標(biāo)記應(yīng)用到特定平面方向的任務(wù),例如必須定義平面方向時(shí)。

對于高吞吐量應(yīng)用程序,可提供自動測量解決方案。

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DDCOM臺式晶體定向儀

弗萊貝格儀器(上海)有限公司

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