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MDPmap晶圓片壽命檢測儀

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弗萊貝格儀器(上海)有限公司

德國

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面議

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937

產品介紹

特性

靈敏度:對外延工藝監控和不可見缺陷檢測,具有可視化測試的**分辨率

測量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘

壽命測試范圍: 20納秒到幾十毫秒

沾污檢測:源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)污染

測量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品

靈活性:允許外部激光通過觸發器,與探測模塊耦合

可靠性: 模塊化和緊湊臺式儀器,更高可靠性,正常運行時間> 99%

重現性: > 99.5%

電阻率:無需時常校準的電阻率面掃描

用于研發或生產監控的靈活檢測工具

MDPmap是一個緊湊的離線臺式檢測設備,對生產控制或研發進行無接觸電學參數特性檢測。可測量參數如載流子壽命、光電導性、電阻率、缺陷信息在穩態或注入范圍寬短脈沖勵磁(μ-PCD)。自動化的樣品識別和參數設置可以方便地適應各種不同的樣品,包括在不同的制備階段,從生長的晶圓片到高達95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。

MDPmap主要優點是其高度的靈活性,它允許集成*多4個激光器,用于從超低注入到高注入,對依賴于注入水平的少子壽命參數測量,或者使用不同的激光波長提取深度信息。包括偏置光設置以及μ-PCD或穩態注入條件選項。可以使用不同的圖譜進行客戶定義的計算,也可以導出原始數據進一步評估。對于標準計量任務,可用一個預定義的標準,使常規測量只需按一個按鈕。

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MDPmap晶圓片壽命檢測儀

弗萊貝格儀器(上海)有限公司

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