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電鍍設備

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盛美半導體設備（上海）股份有限公司

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產品規格型號
參考報價：

面議

品牌：

盛美半導體

型號：

電鍍設備

關注度：

846

產品介紹

主要優勢

脈沖局部電鍍技術

適用于超薄種子層

高產能

獨立模塊設計

低耗材成本COC和運行成本COO











特性和規格

設備應用于300毫米晶圓

*多可配至3個Load Port

*多可配至4個電鍍腔體配備脈沖局部電鍍功能

*多可配至4 個清洗腔體

*多可配至8個退火腔體

電鍍均一性:
　　　　　WIWNU  < 1.5%
　　　　　WTWNU < 1.5%


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