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MOCVD 在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)系列產(chǎn)品

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昂坤視覺(jué)（北京）科技有限公司

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昂坤視覺(jué)

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MOCVD 在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)系列產(chǎn)品

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產(chǎn)品介紹

MOCVD在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)系列產(chǎn)品用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工藝過(guò)程中晶圓的溫度，反射率和翹曲度，并提供可靠的溫度信號(hào)用于控溫，適用于各種轉(zhuǎn)速的MOCVD機(jī)臺(tái)。包括溫度反射率翹曲度在線監(jiān)測(cè)（viperRTC）、表面溫度測(cè)量（viper405）、溫度校準(zhǔn)單元（Calibration Unit）、溫場(chǎng)掃描系統(tǒng)（Scanpyro）等產(chǎn)品

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MOCVD 在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)系列產(chǎn)品

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