粉體行業在線展覽
E3500 SiC 缺陷檢測設備
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E3500 SiC 缺陷檢測設備
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E3500是針對SiC材料的缺陷檢測設備,可以檢測SiC襯底、同質外延等的表面和熒光缺陷。可以檢測并區分三角、carrot、downfall、micropipe、SF、BPD等缺陷。支持4@、6@、8@晶圓檢測,具有高產能、高檢測精度的優點。
F2000 集成電路前道晶圓缺陷檢測設備
圖形化晶圓缺陷檢測設備
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F300-PSS PSS 缺陷檢測設備
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COW/COT AOI芯片缺陷檢測設備
F300-DPW
SPI300 晶圓形貌測量與分選設備
MOCVD在線監測系統 viperRTC-LSD
MOCVD在線監測系統 viperRTC–LSS