粉體行業(yè)在線展覽
F300-EPI GaAs
面議
昂坤視覺
F300-EPI GaAs
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l 適用于GaAs EPI外延片
l 具備AOI、OCR等功能
l 兼容4 inch和6 inch晶圓
l 自研光學(xué)鏡頭: FOV ~15.6mm
l 缺陷檢測空間分辨率:1.3μm x 1.3μm
l Review復(fù)查分辨率: 0.19μm x 0.19μm
l 缺陷檢出率 ≥ 98%
l 缺陷誤檢率 ≤ 2%
l 缺陷重復(fù)性 > 95%
l 鐳刻碼OCR識別率 ≥ 99.9%(選配)
F2000 集成電路前道晶圓缺陷檢測設(shè)備
圖形化晶圓缺陷檢測設(shè)備
E3200 GaN缺陷檢測設(shè)備
E1000 化合物半導(dǎo)體缺陷檢測設(shè)備
E3500 SiC 缺陷檢測設(shè)備
F300-PSS PSS 缺陷檢測設(shè)備
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷檢測設(shè)備
F300-DPW
SPI300 晶圓形貌測量與分選設(shè)備
MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng) viperRTC-LSD
MOCVD在線監(jiān)測系統(tǒng) viperRTC–LSS
TH-F120
在線折光儀PRB21
ParticleX TC
觀世
在線濁度計
CELL PAT
FS500全譜直讀光譜儀
OES1000
蜂鳥10X42
Nanocoulter