粉體行業在線展覽
E1000 化合物半導體缺陷檢測設備
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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備
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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備
Eagle1000 化合物半導體缺陷檢測設備可以檢測藍寶石,砷化鎵,鉭酸鋰,石英玻璃,磷化銦等襯底及外延片。可以檢測并區分顆粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、劃傷(scratch)、污點(stain)、裂紋(crack)等缺陷,*小可檢測缺陷81nm;支持4@、6@、8@晶圓檢測,具有高產能、檢測準確和檢出率高的優點。
適應晶圓尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 標配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um(其它厚度需要測試)
F2000 集成電路前道晶圓缺陷檢測設備
圖形化晶圓缺陷檢測設備
E3200 GaN缺陷檢測設備
E1000 化合物半導體缺陷檢測設備
E3500 SiC 缺陷檢測設備
F300-PSS PSS 缺陷檢測設備
F300-EPI GaAs
COW/COT AOI芯片缺陷檢測設備
F300-DPW
SPI300 晶圓形貌測量與分選設備
MOCVD在線監測系統 viperRTC-LSD
MOCVD在線監測系統 viperRTC–LSS