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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備

E1000 化合物半導體缺陷檢測設備

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昂坤視覺(北京)科技有限公司

北京

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昂坤視覺

型號:

E1000 化合物半導體缺陷檢測設備

關注度:

79

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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備

Eagle1000 化合物半導體缺陷檢測設備可以檢測藍寶石,砷化鎵,鉭酸鋰,石英玻璃,磷化銦等襯底及外延片。可以檢測并區分顆粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、劃傷(scratch)、污點(stain)、裂紋(crack)等缺陷,*小可檢測缺陷81nm;支持4@、6@、8@晶圓檢測,具有高產能、檢測準確和檢出率高的優點。

適應晶圓尺寸Wafer Size

l Size: 4", 6", 8" compatible; 標配4 cassettes; other size upon request

l Thickness: 350um~1500um(其它厚度需要測試)



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E1000 化合物半導體缺陷檢測設備

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