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BT系列工業級大尺寸等離子表面處理儀

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溢鑫科創科技集團

美國

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產品介紹

美國PE公司1980年就開始致力于電子行業使用的等離子設備研發及相關服務, 至今已成為全美***的等離子系統解決方案專業供應商, 其旗下PE系列, BT大尺寸系列,大氣壓系列, PCB專用系列, Roll-to-Roll系列的發展歷史已經超過了30年, 廣泛應用于全球各大小型生產及研發實驗室, 全球超過8000套用戶。

知名客戶如美國宇航局NASA, 波音Boeing, 霍尼韋爾Honeywell, 摩托羅拉Moto, 德國拜耳Bayer, 軍用飛機領軍企業洛克希德馬丁Lockheed-Martin, 及全美各大名校及科研院所如哈佛大學, 麻省理工, 萊斯大學, 橡樹嶺國家實驗室等等。

美國PE擁有等離子技術領域里*頂尖的技術, 憑借著多年研發和突破性創新, 先已擁有了多項技術**, 如**的溫控技術和**的靜電屏蔽技術, 使其等離子設備能提供****的處理效率, 均勻性和可靠性, 其刻蝕清洗效率是市面上其他等離子設備的三倍以上。

應用領域如下:

目前設備廣泛應用于:等離子清洗、刻蝕、改性、灰化、涂鍍和反應離子刻蝕,在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學、半導體科研、半導體封裝、芯片制造、MEMS器件等領域有廣泛應用。

RIE系統刻蝕效果取決于氣體的流量,壓力和功率設置等方面。

我們設計和制造的反應性離子蝕刻系統,可以滿足客戶的任何需要,且可以根據客戶的要求定制適合的等離子系統。我們的等離子處理系統,以提供快速,高品質的蝕刻,低損傷,提供****的均勻性而著稱。

我們的等離子蝕刻機是理想的干蝕刻,目前正在采用的蝕刻:

半導體/集成電路

氮化鎵(甘)

氮化鋁鎵/氮化鎵(AlGaN/GaN)

砷化鎵/砷化鋁鎵(一般反避稅條款/ algaar)

砷化鎵(GaAs)

磷化銦、銦鋁砷/銦鎵砷化物(InP InGaAs/InAlAs)

硅(硅)

硅鍺(SiGe)

氮化硅陶瓷(Si3N4)

硅的溴化氫(sihbr)

硒化鋅(ZnSe)

金屬

鋁(鋁)

鉻(鉻)

鉑(鉑)

鉬(鉬)

鈮(鈮)

鉭(鉭)

鈦(Ti)

鎢(鎢)

電介質

銦錫氧化物(ITO)

鋯鈦酸鉛(PZT)

碳化硅(碳化硅)

塑料/聚合物

聚四氟乙烯(PTFE)

聚甲醛(POM)

聚苯并咪唑(PBI)

聚醚醚酮(PEEK)

聚酰亞胺(聚酰亞胺)

聚酰胺(尼龍)

全氟烷氧基烷(PFA)

聚全氟乙丙烯(FEP)

聚烯烴

聚酯

失效分析

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