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FOR SURFACE MODIFICATION - CLEANING - ACTIVATION - ETCHING - DEPOSITION

表面改性（親水性和赤水性），等離子清潔，等離子活化，刻蝕以及反應離子刻蝕，等離子沉積等應用

GlowResearch是美國**的真空系統解決方案供應商，其旗下的OptiGlow和AutoGlow全自動多功能等離子表面處理系統應用于小型生產及研發實驗室的使用和發展歷史已經超過了20年，隨著研發提升及軟硬件更新，現在的系統不但擁有使用的高穩定性和高效率外，其集成化設計和友好操作界面使得用戶上手操作及參數調整都非常簡易。

其全球客戶群已經超過了3000多套，遍布歐美各大**的微納米加工實驗室及化學生物實驗室，**包括萊斯大學，麻省理工學院，哈佛大學，尤利希中心，法國生物化學與生物分子研究中心，法國應用光學研究所，德國生物技術研究所，德國航空航天研究所，德國馬普所，英國國家工程實驗室等等。

射頻等離子體是*廣泛使用和通用性好的等離子體技術，它應用于醫療和半導體的寬廣領域內。在通用工業/醫療行業，需要清潔、涂覆或化學改性的材料表面被浸入到射頻等離子體的能量環境中，除了射頻等離子體的強烈的化學作用外，其定向效應也起到了一個重要的作用。攜帶動量的粒子到達材料表面后可以物理地去除更加化學惰性的表面沉淀物（如金屬氧化物和其它無機物沉淀）以及交聯聚合物以鎖定等離子體的處理。

AutoGlow—高純度石英樣品室和石英樣品托，3個氣體流量質量控制器，150mm基底尺寸，13.56 MHz射頻激發等離子體可變功率從10到300W，全自動協調校準，壓力可讀，氮氣清洗，CE認證標識。電容耦合的，只需按一個按鈕便可全自動操作整個處理流程。使用在等離子清潔，鍵合前處理包括活化胺化產生官能團， 刻蝕薄膜，去除有機物，光刻膠灰化等。桌面緊湊式設計，*低可在10W功率運行。