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Cressington 208HR SPUTTER COATER 超高分辨濺射鍍膜儀

分子泵超高分辨非晶層鍍膜，電鏡放大倍率可到300K也不會看到鍍膜顆粒，非常適合于現階段超高分辨場發射電鏡或雙束電鏡，電子探針等，如 FEI Nova， Megglen， Verios， Helios等， 日立電鏡的SU80000， SU8200， S4800， 9000系列等， 日本電子 7600F， 7800F等， 蔡司的Merlin， Ultra， Gemini， Auriga系列等。

分子泵超高分辨鍍膜，放大倍率可到30-60萬倍也不會看到鍍膜顆粒，適用于現階段超高分辨場發射或雙束電鏡使用如FEI Nova，Megglen，Verios，Helios等; Hitachi SU8000，SU8200，S4800，9000等; JEOL 7600F 7800F等; ZEISS Merlin，Ultra，Auriga;

為了答謝廣大中國電鏡工作者對于英國Cressington產品信賴和支持，以及對于溢鑫科創工作的配合和支持，我司和英國原廠特舉辦回饋優惠活動：購置超高分辨208HR鍍膜系統，將贈送超高分辨膜厚監控儀MTM-20以及高性能旋轉傾斜樣品臺。

• **磁控冷態噴鍍

  **冷態鍍膜設計使用真正的“平衡磁控管”沒有等離子體電流在樣品，在得到高分辨非晶鍍膜層同時避免樣品受到熱損傷，對熱損傷或輻照損傷敏感樣品尤為適合

• 廣泛的鍍層靶材選擇

  特殊雙極磁控管頭設計和有效的氣體離子處理使得208HR擁有廣泛多種鍍層靶材選擇

• 全自動化設計

  自動的換氣與泄氣功能，濺射電流和電壓通過磁控頭的傳感線監控，蒸發源作為反饋回路中的一部分被控制保證了均勻一致的膜厚，和**的導電噴鍍效果。

• 超高精度膜厚監控設計

  使用可選MTM-20全自動高分辨膜厚監控儀可優化設計鍍膜條件達到0.1nm膜厚可控效果

• 多用途樣品托設計

  獨立的旋轉，水平和傾斜 3軸移動設計優化了多樣品以及不規則樣品的均勻一直鍍膜

• 可變的樣品室幾何設計

  為了優化鍍層結構樣品室幾何設計可用于調整噴鍍速度從1.0納米每秒到0.002納米每秒

• 廣泛的操作氣體壓力

  獨立的電壓，電流以及壓力回路控制系統允許可操作氬氣壓力從0.2-0.005mbar真空度

• 緊湊型時尚桌面式設計

  節能，緊湊設計消除了對于樓層空間要求，水要求和專業電氣連接要求

鍍膜不同多樣樣品

超高分辨208HR鍍膜系統現在針對噴鍍不同電鏡樣品提供了*理想的解決方案。為了減小噴鍍晶粒尺寸影響，208HR提供一套全系列的鍍膜靶材材料和****的膜厚鍍層控制條件。為了更小優化充電效果，208HR的特殊樣品臺設計和大范圍的操作壓力提供了高精度的鍍膜一致性和統一性。 高低樣品室的配置也提供了更為方便的工作距離調整。

可調式旋轉傾斜水平樣品臺超高分辨全自動膜厚監控儀 MTM-20

208HR超高分辨鍍膜儀技術規格：

樣品倉尺寸： 150mm 直徑， 三個高度可調，適用高度不同樣品，高強度硼硅酸鹽玻璃

濺射管頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環繞暗區護罩

噴鍍靶材：鉻，鉑/鈀 標配， 金，鎢，銅，鋁，銥，銀等選配，其他材料按客戶需求提供

濺鍍優點：基于微處理器反饋控制，遠程電流/電壓感應；提供真空安全聯鎖裝置，**180A，配有過流保護，數字化可選電流（20，40，60 或80毫安）

樣品臺：可放置12個標準EM樣品座，0到90度傾斜可調的旋轉水平樣品臺

模擬計量：真空 Atm - 0.001mb 電流: 0 – 80mA

控制方式： 全自動噴鍍控制，自動卸真空自動進氣功能，使用可編程電壓控制和計時數字計時 (0 – 300秒)以及暫停設計；全自動真空監測系統

真空系統： 標配無油分子泵真空以及機械泵真空系統，泵抽速達到每秒70L，1.5分鐘內抽到真空度到1 x 10-4 mbar， 極限真空優于5 x 10-6 mbar，附帶減震臺的桌面式真空泵設計，全金屬耦合系統

全自動超高分辨膜厚監控儀技術規格：

MTM-20 基于微處理控制，4位顯示系統，6MHZ晶體監探器，每秒5次實時監控 MTM-20

膜厚監控范圍： 0到999.9納米

分辨率： 優于0.1納米

密度范圍：0.50到30.00gm/cm3

安裝環境要求：

電源：200-240 VAC， 50/60Hz

功率：550VA

氬氣要求：99.99% 純氬氣，壓力設定0.5/0.6 bar， 6.0mm管路接口

設備尺寸：寬600mm， 深600mm，高450mm， 重量40kG

備注：為保證銷售渠道正規，配套方案先進及統一的市場管理和售后服務，英國cressington在各個國家都只設**授權代理，中國官方授權總代為：溢鑫科創Yi Xin Technology，詳細信息請參考英國原廠官方網址。