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創新型設計

**全面的清洗解決方案。Evactron CombiClean 清洗系統為透射樣品，樣品桿以及透射極靴等其他分析設備提供了桌面式清洗平臺，幫助客戶清洗樣品以及電鏡部件，去除其存在的碳污染問題。同時也提供了外置等離子發生器用于電鏡腔體清洗方案。系統操作簡單，檢測器可以智能控制多個等離子發生器單元，控制器自由切換可以通過不同發生器的工作模式。系統支持旋葉機械泵，從而防止油污染。提供干燥氮氣保護環境，保證經等離子清洗過后的樣品可以長期保存，此時不影響其他等離子發生器的使用。

應用

Evactron CombiClean 系統可以提供外置式等離子發生器，用于掃描電鏡、透射電鏡和雙束電鏡，同時也可以清洗透射樣品桿以及氣塞。結合使用Evactron TEM Wand透射電鏡等離子清洗桿，可以清洗透射電鏡樣品、部件以及真空腔內部。

系統特性

系統通過內部的處理器，由MicroPirani 軟件對于真空度以及功率進行智能控制。處理器可以對等離子發生器進行定時清洗控制以及氮氣保護循環。系統保留操作日志。操作可以通過前置面板或者電腦完成。

可選TEM WAND原位透射極靴清潔樣品桿