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槽式濕法清洗設備
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小尺寸，高產能
先進的IPA干燥方式
工序可靈活編輯
無盒式（No-Cassette）50片晶圓批次處理
節能減排，降低成本
配備先進的IPA干燥槽
配備穩定的晶圓傳輸系統
模塊化設計，可客制化組合選配
可選配一體式清洗模塊（多種化學藥水與純水在同一槽中進行工藝）
可選配兆聲波清洗
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