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TEBO兆聲波清洗設備

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盛美半導體設備（上海）股份有限公司

美國

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參考報價：

面議

品牌：

盛美半導體

型號：

TEBO兆聲波清洗設備

關注度：

536

產品介紹

TEBO----用于先進器件的清洗技術

主要優勢

智能兆聲波技術

使用便捷

精確控制

減少成本、保護環境


特性和規格

*多可配至12套清洗腔體, 產能可達375 片/小時

具有雙面清洗能力, *多可配至5種清洗藥液，工藝靈活

*多可以回收2種藥液

使用高溫IPA干燥技術

配備TEBO智能兆聲波組件

集成式藥液供給模塊，可供給DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等


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