粉體行業在線展覽
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German First-Nano System 德國韋氏納米
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583
AS-One系統有兩種型號： AS-One 100 系統或AS-One 150 系統
該快速退火爐是專門為滿足大學、研究實驗室和小規模生產的需求而研制的，高可靠且性價比高。
該工藝室采用貝殼式設計，可完全進入底板，方便裝載和卸載基板，并允許實際清潔腔體
快速數字PID溫度控制器在整個溫度范圍內提供精確和可重復的熱控制。
| 特征： | |
| 基本尺寸： | Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
| 工藝腔體 | 運用不銹鋼冷腔室壁技術 |
| 溫度范圍 | 標準配置：**達到1250°C 高溫配置：**達到1450°C |
| 溫度控制 | 標準配置：熱電偶和高溫計用來測量溫度 快速數字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復的熱控制 |
| 真空和氣體 | *多可達5路帶MFC的工藝氣體，一路清潔氣體 |
| 電腦控制 | 全PC電腦控制，每個配方*多100步驟 全數據記錄與處理歷史的人機界面設計 |
| 選項： | |
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統/其他套件 | |
| 應用： | |
● 快速熱退火
● 快速熱氧化
● 擴散/接觸時退火
● 化合物退火
● 結晶或致密化
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