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優(yōu)勢(shì)

· 納米級(jí)縱向分辨率，適合光滑表面測(cè)量分析
· 簡(jiǎn)單、精確、快速、可重復(fù)的測(cè)量方式
· 可結(jié)合共焦顯微反射光譜測(cè)量

測(cè)量功能

· 表面三維粗糙度非接觸測(cè)量
· 表面微觀三維結(jié)構(gòu)測(cè)量
· 顯微反射光譜測(cè)量（選）
· 一鍵式快速測(cè)量

適用對(duì)象

· 精密光學(xué)元件，微納加工器件，金屬機(jī)加工零件等

測(cè)量原理

· 白光干涉顯微測(cè)量原理：采用白光光源，將非相干光干涉和高分辨率顯微成像技術(shù)相結(jié)合形成微觀三維輪廓，采用不同測(cè)量倍率物鏡，縱向測(cè)量分辨率均可達(dá)到亞納米量級(jí)
· 顯微光譜測(cè)量：選配光譜模塊可以實(shí)現(xiàn)表面微區(qū)光譜測(cè)量和厚膜測(cè)量功能

從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制，Micro1000 系統(tǒng)可以用于對(duì)從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進(jìn)行表面微觀測(cè)量分析和粗糙度質(zhì)量評(píng)價(jià)。