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Axio Imager.Vario具有寬大樣品空間，十分適合于半導(dǎo)體行業(yè)（比如太陽(yáng)能電池、晶圓加工檢測(cè)、平板顯示器（FPD））成產(chǎn)的材料檢測(cè)、工藝研發(fā)，以及在線檢測(cè)。

技術(shù)參數(shù)

1、物鏡：5x、10x、20x、50x、100x（可選1.25x，2.5、150x，可選LD功能）。

2、目鏡：放大10x（可選16x、25x）；視場(chǎng)數(shù)23（可選25）。

3、物鏡自動(dòng)聚焦**行程：5mm。

4、樣品空間深度（光軸到立柱的距離）；385mm。

5、載物臺(tái)行程：

透反兩用手動(dòng)載物臺(tái)，200mmX200mm移動(dòng)范圍；

反射光用手動(dòng)載物臺(tái)，300mmX300mm移動(dòng)范圍；

透反兩用電動(dòng)載物臺(tái)，200mmX200mm移動(dòng)范圍；

透反兩用電動(dòng)載物臺(tái)，反射光用時(shí)300mmX300mm移動(dòng)范圍，透射光用時(shí)200mmX200mm移動(dòng)范圍。

6、顯微鏡模塊質(zhì)量：17.5到20kg。

7、光源：12V100W鹵素?zé)簦悄芑饴饭芾砥鳎鈴?qiáng)色溫自動(dòng)可調(diào)。

8、可擴(kuò)展性：可選自動(dòng)聚焦，可選透射光路。