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廣州市固潤光電科技有限公司
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原子力顯微鏡主動減振臺/減震臺
品牌：HERZ
型號：AVI-600-XL
描述：AVI系列是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統，有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。AVI系列可在寬頻率范圍內進行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能。
適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM，干擾儀防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統防震臺，時頻系統防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！
產品亮點：
六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振， >200Hz被動隔振)
5-20ms響應時間
低頻隔振性能優異，安裝和使用簡單
系統主動檢測輸入振動并動態消除
緊湊、模塊化的多功能設計
穩定性高，能無故障連續使用多年
無低頻共振、無空氣要求
應用范圍：
超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）
光刻工具
高精度計量工具
光譜儀器
升級選項：
可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。
技術參數：
型號：AVI-600XL/LP
系統配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置
主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz
被動隔振范圍:大致為200 Hz以上
顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。
LEDs 指示輸出階段的過載情況。
單元尺寸(每個):318 x 856 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
隔振單元重量: 34kg
負載能力:1200 kg (同等/低重心)
輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC， 50 - 60 Hz
功耗：通常27W
溫度范圍：5℃ - 40℃
相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室內/室外使用：僅用于室內
隔振效果：
性能對比圖：SEM 的研究人員在兩種獨特條件下進行成像： 不含隔振系統和包含AVI系列隔振臺。當使用AVI系列隔振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。
原子力顯微鏡主動減振臺/減震臺
