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>雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

品牌展臺：廈門韞茂科技有限公司

雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

QBT-I

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廈門韞茂科技有限公司

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產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

韞茂科技

型號：

QBT-I

關(guān)注度：

1536

創(chuàng)新點：

產(chǎn)品詳情：上下雙腔,集表面處理與蒸發(fā)鍍膜為一體,高效可靠的Indium蒸鍍助手。

產(chǎn)品介紹

QBT-I 雙腔室高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

產(chǎn)品詳情：

上下雙腔,集表面處理與蒸發(fā)鍍膜為一體,高效可靠的Indium蒸鍍助手。

技術(shù)參數(shù)

QBT-I 技術(shù)參數(shù) Technical Specifications (Indium Bump等制備)
高真空腔體 HV Chamber	2個HV腔室，Loadlock離子束刻蝕及蒸鍍，極限真空Ultimate Pressure<3E-8Torr
排氣速率Pumping Spead	從ATM到8E-7Torr<15min (loadlock)
極限蒸發(fā)速率 High Depostion Rate	5-12nm/s (Indium), Ф100基板鍍膜均一性<3%, 大容量坩堝
精準(zhǔn)的樣品冷卻控制 Wafer Cooling	-10-40℃ (精度±0.1）
離子束清洗 Ion Milling	考夫曼離子源, Ф100基板刻蝕均一性<3%
人機(jī)界面 HMI	全自動化人機(jī)操作界面
安全Safety	工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全互鎖Industry Safety Interlock，報警Alarm，EMO

測試結(jié)果

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雙腔型高真空高速蒸鍍系統(tǒng)

QBT-I

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