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雙腔型超高真空蒸鍍系統(tǒng)

QBT-F

直接聯(lián)系

廈門韞茂科技有限公司

福建

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

品牌：

韞茂科技

型號：

QBT-F

關(guān)注度：

2011

創(chuàng)新點：

廈門韞茂科技有限公司憑借在先進(jìn)材料設(shè)備業(yè)務(wù)方面多年的經(jīng)驗，韞茂為新型芯片，半導(dǎo)體和鋰電池領(lǐng)域的新材料開發(fā)和生產(chǎn)，提供最先進(jìn)的納米工藝設(shè)備和服務(wù)解決方案。根據(jù)您的特殊需求，我們?yōu)槟ㄖ拼蛟靹?chuàng)新納米加工平臺，保證高品質(zhì)的設(shè)計，多功能，易于使用的界面，嚴(yán)格的安全控制，以及快速的交付和服務(wù)。

產(chǎn)品介紹

雙腔型超高真空蒸鍍系統(tǒng)

技術(shù)參數(shù)：

1高真空腔體：2個高真空腔體包括負(fù)荷鎖及Evaporation,極限真空極限壓力<2e-8 Torr

2排氣速率：ATM到3E-7 Torr<20分鐘(裝載鎖)

3基板加熱：RT-600oC

4離子束清洗：考夫曼離子源,離子能量100-600 eV， 100-1200eV; 離子束電流：:20-200mA,或100基板刻蝕
均一性<3%

5高壓電源：6-10千瓦電源，1-6源口袋

6成膜均勻性：<3%（6inch Wafer）

獲取更多信息，請訪廈門韞茂科技有限公司網(wǎng)站

產(chǎn)品咨詢

雙腔型超高真空蒸鍍系統(tǒng)

QBT-F

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