粉體行業在線展覽
EVG 560晶圓鍵合系統
面議
亞科電子
EVG 560晶圓鍵合系統
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產品簡介:
EVG 560是一款全自動多腔室晶圓鍵合系統。
主要特點及參數:
·**支持12英寸(300mm)晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內的EVG機械/光學對位裝置
·擁有獨立的底部冷卻系統
產品簡介:
EVG 560是一款全自動多腔室晶圓鍵合系統。
主要特點及參數:
·**支持12英寸(300mm)晶圓
·*多兼容4個鍵合腔室
·兼容包括SmartView在內的EVG機械/光學對位裝置
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