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專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡(AFM)系統(tǒng)
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Park
專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡(AFM)系統(tǒng)
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隨著對(duì)大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加,Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺(tái)的結(jié)合,克服了針對(duì)大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量,臺(tái)階高度測量和關(guān)鍵尺寸測量。
為OLED面板行業(yè)整片測量,超高尺寸鏡片測量,提供全自動(dòng)的原子力顯微鏡計(jì)量解決方案。
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專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡(AFM)系統(tǒng)
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專為超大納米平板顯示器測量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡(AFM)系統(tǒng)
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