粉體行業在線展覽
兩個鍍膜系統直接互聯設備
面議
致真精密
兩個鍍膜系統直接互聯設備
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致真設備還推出了多款互聯設備實現多個系統的互聯,適用于2~8英寸的晶圓。通過真空泵組搭配可實現晶圓的超高真空傳輸。根據需求可以選擇兩套系統直接相連,成本較低且運行可靠。也可以通過圓形互聯系統實現多個系統相連,通過選配進樣室可以實現超高真空過渡,減少對鍍膜系統的污染。
觀察窗擋板
傾斜式高溫樣品臺
蒸發源
圓形互聯設備(外置機械臂、內置機械臂)
兩個鍍膜系統直接互聯設備
超高真空管道傳輸設備
晶圓真空傳輸平臺—VTM
量產型磁控濺射設備—MSI-200
生產型磁控濺射設備—MSI-100-UHV
生產型磁控濺射設備—MSI-100-HV
量產級多功能薄膜沉積設備
分子束外延設備—MBE-400