99亚洲狠狠色综合久久位-99亚洲精品色情无码久久-99亚洲男女激情在线观看-9国产露脸精品国产麻豆-亚洲一区精品中文字幕-亚洲一区精品伊人久久

雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數d33的測試。
這是世界上**臺適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關性能的測試。
大量樣品測試的重復精度可達2%以上。

測試功能：
機電大信號應變、極化、壓電系數、小信號介電常數。
疲勞和電性及機械性能可靠性。

樣品測試：
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數。

技術參數：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量范圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應力測試：>50Hz，*小1Hz分辨率，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
  小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）