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法國(guó)Plassys微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) SSDR 150

SSDR150 微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)專門用于合成 CVD 金剛石薄膜，能夠制備高純單晶(需高純氣源）、厚單晶、大單晶、多晶薄膜、光學(xué)級(jí)窗口。SSDR150 不斷優(yōu)化的微波及等離子體設(shè)計(jì)，是一款可靠的、穩(wěn)定的、長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行的金剛石薄膜生長(zhǎng)系統(tǒng)，能夠**地適用于高校科研和企業(yè)生產(chǎn)。

SSDR150 系統(tǒng)特點(diǎn)

。 鋁合金腔體+內(nèi)置石英管反應(yīng)室，支持長(zhǎng)時(shí)間高功率下工作

。工藝氣壓可達(dá) 350 mbar 或更高，可以高速率生長(zhǎng)單晶

。微波源為 2.45GHz、**功率 6 kW，高耦合效率

。標(biāo)準(zhǔn)配置 4 條氣路，*多可增加至 7 條氣路（摻雜氣路）

。2 英寸水冷樣品臺(tái)，高度電動(dòng)可調(diào)、精度優(yōu)于 10μm (可選)

。雙色紅外高溫計(jì)測(cè)試樣品表面溫度，范圍 475-1475 °C

。愛(ài)德華茲分子泵+ 干泵，**真空度≤ 3×10-7 mbar

。高水平金剛石生長(zhǎng)工藝培訓(xùn)及演示（內(nèi)容根據(jù)應(yīng)用而定）

。全自動(dòng)控制、半自動(dòng)和手動(dòng)可用，圖形化操作界面（GUI）

。多級(jí)用戶設(shè)置和管理、遠(yuǎn)程診斷和維護(hù)、數(shù)據(jù)導(dǎo)出接口

。多用途：高純度單晶、厚單晶、大單晶、摻雜、光學(xué)窗口

。設(shè)備維護(hù)少、安全、可靠、穩(wěn)定、性價(jià)比高

應(yīng)用領(lǐng)域

。切削刀具、耐磨涂層、熱沉材料、SAW

。光學(xué)窗口、激光晶體、電化學(xué)電極、CNT

。生物傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、光電探測(cè)器

。商用寶石、低壓高溫退火處理、量子計(jì)算

SSDR150 性能表現(xiàn)

多晶金剛石:

• 液氮溫度下 PL 檢測(cè) 無(wú)明顯氮

• 生長(zhǎng)速率: 高達(dá) 10 μm/h， 取決于生長(zhǎng)工藝