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海德堡Heidelberg 高級(jí)大型2D，3D直寫光刻機(jī)DWL 8000

大面積瞄寫系統(tǒng)：DWL 8000

搭配海德堡的精密軟件控制可以讓您在大面積范圍中，也可以瞄寫2維和3維圖形的DWL 8000系列，是針對(duì)微光學(xué)領(lǐng)域的2維和3維的微構(gòu)造形式所制作。

對(duì)于激光圖形生成器，MEMS，Displays 和sensors 都有加寬，加高的設(shè)計(jì)。DWL 8000精確的溫度控制，動(dòng)態(tài)的焦點(diǎn)追蹤，closed loop位置決定，確保**布置和完全覆蓋性的直寫范圍。

DWL 8000多年的經(jīng)驗(yàn)累積，使Gray Scale曝光技術(shù)，可以更有效率于更小的系統(tǒng)上直寫更大的區(qū)域范圍。在使用高分辨率技術(shù)掩模板上，使用曝光強(qiáng)度經(jīng)過(guò)調(diào)整的激光，可在連續(xù)表面上形成1個(gè)復(fù)雜的3維樣式。

主要功能：

。*小描繪尺寸：0.7um

。*小直寫尺寸：20nm

。5種描繪模式

。可轉(zhuǎn)換成自動(dòng)描繪模式

。進(jìn)階3維繪畫方式

。里測(cè)/校直用照相機(jī)系統(tǒng)

。選擇線上（Online）傳送繪畫數(shù)據(jù)

。自動(dòng)基板加載系統(tǒng)

。多種多樣的繪畫數(shù)據(jù)輸入格式（DXF，CIF，GDSLL，Gerber，STL）

。Stage Map補(bǔ)正

。Edge detectof unit

應(yīng)用范圍：

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor