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美國TED PELLA高分辨離子濺射儀208HR-適用于場發(fā)射掃描電鏡

一、主要特性

。可選擇多種鍍膜材料

。精確的膜厚控制

。樣品臺(tái)控制靈活：可對樣品臺(tái)進(jìn)行獨(dú)立的旋轉(zhuǎn)、行星式轉(zhuǎn)動(dòng)、傾斜控制，保證形貌差異大的樣品也能得到**的鍍膜效果。

。多個(gè)樣品座：提供4個(gè)樣品座，每個(gè)樣品座直徑32mm，可裝載多達(dá)6個(gè)小樣品座。

。樣品室?guī)缀慰勺儯?/strong> 樣品室?guī)缀斡糜谡{(diào)節(jié)鍍膜的速率（1.0nm/s ～ 0.002nm/s）

。寬范圍的操作壓力：獨(dú)立的功率和壓力調(diào)節(jié)，氬氣的壓力大小范圍為0.2 - 0.005 mbar。

。緊湊、現(xiàn)代的桌上型設(shè)計(jì)

。操作容易

二、技術(shù)參數(shù)

208HR高分辨離子濺射儀為場發(fā)射掃描電鏡應(yīng)用中遇到的各種樣品噴鍍難題提供真正的解決方案。

場發(fā)射掃描電鏡觀察時(shí)，樣品需鍍上極其薄、無細(xì)晶且均勻的膜層以消除電荷積累，并提高低密度材料的對比度。為了將細(xì)晶的尺寸減小到*小程度，208HR提供了一系列的鍍膜材料，并對膜厚和濺射條件提供無可媲美的控制。

208HR分子渦輪泵高真空系統(tǒng)提供寬范圍的操作壓力，可以對膜層的均勻性和一致性進(jìn)行精確控制，并**程度減小充電效應(yīng)。高/低樣品室的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使靶材和樣品之間的距離調(diào)節(jié)變得極為方便。

MTM-20高分辨膜厚控制儀分辨率小于0.1nm，其作用是對所鍍薄膜的厚度進(jìn)行精確控制，它尤其適合場發(fā)射電鏡對膜厚（0.5－3nm）的要求。

場發(fā)射掃描電鏡鍍膜推薦的靶材是：

。Pt/Pd：非導(dǎo)電樣品鍍膜的通用鍍膜材料

。Cr：優(yōu)良的半導(dǎo)體樣品的鍍膜材料

。Ir：優(yōu)良的真正無細(xì)晶的鍍膜材料

208HR系統(tǒng)為得到**高分辨鍍膜效果提供了多種配置選擇，可配備標(biāo)準(zhǔn)的旋片泵或提供干凈真空的無油渦旋式真空泵，標(biāo)配的208HR包含Cr 和 Pt/Pd靶。