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德國Diener研究型等離子清洗機Bell Jar 35

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德國Diener研究型等離子清洗機Bell Jar 35

Bell Jar 35 等離子設備是一種研究設備,其專為科學試驗所研發。該設備即適用于熱蒸發,濺射 ,電子束蒸發,SEM(掃描電子顯微鏡)樣品制備的金屬涂層,也適用于傳統的等離子體工藝。

基本設備

。外殼約寬560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容積:約35升

。供電電源:230V/16A

氣源

。3個質量流量控制器(MFCs)

真空腔室

。硼硅玻璃材質的玻璃罩,直徑315MMx高500MM

濺射源

。1個濺射源2"-3"+擋板(可為反應過程選配排煙管和進氣口)

基材支架

。直徑140MM(可選擇旋轉型,基材加熱器,基材冷卻裝置)

。可切換為等離子預處現的電極(清洗,活化,蝕刻)

控制系統

。PCCE控制系統(Microsoft Windows XPe)

壓力測量

。Pirani

發生器

。頻率:40KHz, 功率 0-500W

13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置電源或單極性脈沖,**功率300W,**電壓600V,直流電

。發生器為 0-100% 無級可調型

真空泵

。規格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)

其它選項

備件套件,壓力計,腐蝕性氣體設計結構,氣瓶,減壓器,加熱板,溫度顯示器,加熱型腔室,Faraday Box, 等離子體聚合配件,試墨水,氧氣發生器,慢速通風裝置,慢速抽吸裝置,TEM樣品架法蘭,維護/服務,當地語言的文件,現場安裝,包括培訓,可應需求提供的其它選項。

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