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美TED PELLA 自動離子濺射儀 108AUTO
108Auto是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌上型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜。
主要特性
· 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和很佳的導電噴鍍效果。
· 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
· 操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
· 在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,
· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。
· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和zui佳的鍍膜效果。
· 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。
技術參數(shù) | |
樣品室大小 | 直徑120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
靶材 | Au 靶為標配,Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mmx 0.1mm厚 |
樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座,高度可調(diào)范圍為50mm |
濺射控制 | 微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),zui大電流40mA,程序化數(shù)字控制 |
濺射頭 | 低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護罩 |
模擬計量 | 真空:Atm - 0.001mbar |
厚度監(jiān)控 (選件) | 使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監(jiān)控儀(選件)手動終止濺射過程 |
控制方法 | 自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器(0-300s),自動放氣 |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng) |
FORJ
德國MicroTec—CUT4055
PD-10電鏡粉末制樣儀
全自動切片機
YPZ-GZ110L
SPEED wave
ZYP-X60T
XHLQM-30
Spex 3636 X-Press? 實驗室用自動壓片機