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普發(fā)真空HiPace®10渦輪分子泵

直接聯(lián)系

普發(fā)真空技術(shù)（上海）有限公司

德國

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報(bào)價：

面議

關(guān)注度：

646

產(chǎn)品介紹

穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計(jì)（Robust Design）和經(jīng)過實(shí)踐證明的高可靠性軸承系統(tǒng)。
緊湊型結(jié)構(gòu)以滿足更小的物理空間安裝需求。
高氣流量和高抽速。
可任意角度安裝。
防護(hù)等級IP54符合工業(yè)環(huán)境應(yīng)用要求。
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工況。
SEMI S2 和 UL認(rèn)證。
完整的配件系統(tǒng)擴(kuò)展了潛在客戶的需求。
更長時間維護(hù)保養(yǎng)時間。
可現(xiàn)場更換軸承。

Bearing 軸承	Ball bearing 球軸承
Compression ratio for Ar 氬氣壓縮比	2.5 · 107
Compression ratio for H2 氫氣壓縮比	3 · 102
Compression ratio for He 氦氣壓縮比	3 · 103
Compression ratio for N2 氮其壓縮比	3 · 106
Cooling method， standard 冷卻方式，標(biāo)準(zhǔn)	Convection 對流
Electronic drive unit 控制器	with TC 110
Flange (in) 法蘭（進(jìn)氣）	DN 25
Flange (out) 法蘭（出氣）	DN 16 ISO-KF / G 1/8"
Fore-vacuum max. for N2 氮?dú)?*前級真空	25 hPa \| 18.75 Torr \| 25 mbar
Gas throughput at full rotational speed for Ar 氬氣全轉(zhuǎn)速時的氣流量	0.37 hPa l/s \| 0.28 Torr l/s \| 0.37 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for H2 氫氣全轉(zhuǎn)速時的氣流量	2.78 hPa l/s \| 2.08 Torr l/s \| 2.78 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for He 氦氣全轉(zhuǎn)速時的氣流量	0.48 hPa l/s \| 0.36 Torr l/s \| 0.48 mbar l/s
Gas throughput at full rotational speed for N2 氮?dú)馊D(zhuǎn)速時的氣流量	0.37 hPa l/s \| 0.28 Torr l/s \| 0.37 mbar l/s
Interfaces 接口	RS-485， Remote
Mounting orientation 安裝方向	in any orientation 任意方向
Operating voltage 運(yùn)行電壓	24 (± 5 %) V DC
Particulate matter 顆粒物	yes
Permissible magnetic field max. 容許的**磁場	3 mT
Protection category 防腐等級	IP 54
Pumping speed for Ar 氬氣抽速	11.5 l/s
Pumping speed for H2 氫氣抽速	3.7 l/s
Pumping speed for He 氦氣抽速	6 l/s
Pumping speed for N2 氮?dú)獬樗?/span>	10 l/s
Rotation speed ± 2 % 旋轉(zhuǎn)速度 ± 2 %	90000 min-1
Rotation speed variable 可變旋轉(zhuǎn)速度	50-100 %
Run-up time 啟動時間	0.9 min
Sound pressure level 聲壓級	< 50 dB (A)
Ultimate pressure according to PNEUROP 根據(jù)PNEUROP的極限壓力	< 5 · 10-5 hPa \|< 3.75 · 10-5 Torr \|< 5 · 10-5 mbar
Weight 重量	1.8 kg \| 3.97 lb

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