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入口法蘭

DN63ISO-K、DN63CF、DN40NW、DN100ISO-K

出口法蘭

KF16

抽

速

ISO63/63CF

DN40NW

ISO100

N₂

61l/s

42l/s

66l/s

He

57l/s

49l/s

59l/s

H₂

53l/s

48l/s

54l/s

壓

縮

比

N₂

>1×10¹¹

He

1×10⁶

H₂

5×10⁴

極限

真空

RV泵，ISO/CF

<5×10^-9/<5×10^-10 mbar

隔膜泵，ISO/CF

<5×10^-8/<5×10^-9 mbar

推薦前級泵^*

RV5/nXDS6i

放氣口/吹掃口

1/8英寸BSP母螺紋

**連續(xù)入口壓力（輕質(zhì)氣體）^?

水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C）

2×10^-2 mbar

空冷（環(huán)境溫度35°C）

1×10^-2 mbar

泵轉(zhuǎn)速

標(biāo)稱轉(zhuǎn)速

90000rpm

待機(jī)轉(zhuǎn)速

49500~90000rpm可調(diào)

（缺省63000 rpm）

功率范圍

50~120W可調(diào)

（缺省80W）

90%轉(zhuǎn)速啟動時間

110s^?

模擬輸出

泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度

冷卻方式^#

空冷/水冷

空冷環(huán)境溫度

5~35°C

*小水冷流速

（15°C的水）

15l/ h

水溫范圍

10~20°C

入口法蘭**溫度

100°C

工作姿態(tài)

垂直、水平

噪聲（1m處）

<50dB(A)

**耐受磁場

5mT

推薦控制器

TIC100渦輪儀表控制器

穩(wěn)態(tài)功耗

10W

貨號

描述

B72241000

EXT75DX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭

B72242000

EXT75DX分子泵：DN63CF入口法蘭

B72243000

EXT75DX分子泵：DN40NW入口法蘭

B72245000

EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭

B72246000

EXT75DX分子泵：DN100 ISOK入口法蘭（DN25NW前級泵接口）

B72235000

EXT75iDX分子泵：DN40NW入口法蘭

B72237000

EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭

B72238000

EXT75iDX分子泵：DN63ISO-K入口法蘭（DN25NW前級泵接口）