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Edwards nEXT300D渦輪分子泵

直接聯(lián)系

北京帥恩科技有限責(zé)任公司

英國

產(chǎn)品規(guī)格型號

參考報價：

面議

關(guān)注度：

615

產(chǎn)品介紹

概述

nEXT300D分子泵是一款磁懸浮軸承與陶瓷軸承結(jié)合使用的復(fù)合分子泵，有ISO100和CF100兩種入口法蘭接口，對N₂的抽速為300l/s。nEXT泵采用Edwards成熟的軸承技術(shù)，上軸承為**性磁懸浮軸承，下軸承為油潤滑陶瓷軸承，并改進轉(zhuǎn)子設(shè)計，使其更加有效地實現(xiàn)分子拖曳行程，*終提高抽速和壓縮比，同時真正實現(xiàn)了用戶自行維護。它們采用24V到48V直流無傳感器電機，內(nèi)置驅(qū)動，與Edwards的TAG和TIC系列控制器完全兼容。該分子泵有80W和160W兩種**預(yù)設(shè)功率可選，前者可使用100W TIC控制器，適用于抽氬氣，但在該功率下達到滿轉(zhuǎn)速的加速時間較長。

基本的分子泵系統(tǒng)通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合適的前級泵組成。

性能特點

**的轉(zhuǎn)子設(shè)計，可以實現(xiàn)**的抽速和壓縮比
維護簡便，用戶可以在短時間內(nèi)完成維護，無需復(fù)雜的工具或拆卸
設(shè)計緊湊，性能**，可以實現(xiàn)高效系統(tǒng)化
與Edwards TIC渦輪儀表控制器兼容，可加3個真空規(guī)，而無需額外控制器
符合RoHS，并通過CSA/UL認(rèn)可

技術(shù)指標(biāo)

入口法蘭		DN100ISO-K，DN100CF
出口法蘭		KF25
抽速	N₂	300l/s
	He	340l/s
	H₂	280l/s
壓縮比	N₂	>1×10¹¹
	He	1×10⁶
	H₂	5×10⁴
極限真空（ISO/CF，RV前級泵）		<6×10^-8/<5×10^-10 mbar
推薦前級泵^*		RV12/nXDS10i
放氣口		1/8英寸BSP母螺紋
吹掃口		1/8英寸BSP母螺紋
**連續(xù)入口流量（氮氣）^?
水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C）		95sccm
空冷（環(huán)境溫度35°C）		115sccm
泵轉(zhuǎn)速
標(biāo)稱轉(zhuǎn)速		60000rpm
待機轉(zhuǎn)速		33000~60000rpm可調(diào) （缺省42000 rpm）
功率范圍		50~200W可調(diào) （缺省160W）
90%轉(zhuǎn)速啟動時間		145s^?
模擬輸出		泵轉(zhuǎn)速、功耗、泵溫度、控制溫度
冷卻方式^#		空冷/水冷
空冷環(huán)境溫度		5~35°C
*小水冷流速（15°C的水）		15l/ h
水溫范圍		10~20°C
入口法蘭**溫度		80°C
工作姿態(tài)		垂直、水平（±2°）
噪聲（1m處）		<45dB(A)
**耐受磁場		5mT
推薦控制器		TIC200渦輪儀表控制器
穩(wěn)態(tài)功耗		20W

*根據(jù)應(yīng)用可使用較小的前級泵，如使用隔膜泵要求極限真空小于 5 mbar，如XDD1。

? 如大于該入口壓力，轉(zhuǎn)速會降至標(biāo)稱轉(zhuǎn)速以下。

? 功率為160 W。

#空冷和水冷卻附件須單獨訂購。

訂貨信息

貨號	描述
B82200100	nEXT300D渦輪分子泵：ISO100 入口法蘭
B82200200	nEXT300D渦輪分子泵：CF100 入口法蘭
B82200101	nEXT300D渦輪分子泵：ISO100 入口法蘭，80W
B82200201	nEXT300D渦輪分子泵：CF100 入口法蘭，80W
D39722000	TIC渦輪儀表控制器：200W、RS232
B58053175	nEXT徑向風(fēng)扇
B58053170	nEXT徑向風(fēng)扇，帶泵驅(qū)動接頭
B80000815	nEXT 水冷組件
B80000812	油濾筒工具組件
B80000805	軸承和油濾筒工具組件
B80000811	油濾筒
B80000810	軸承和油濾筒

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