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測量元素：Na~U

X射線管：銠（Rh）靶 /管電壓 50 kV / 管電流 1 mA

X射線熒光檢測器：SDD硅漂移檢測器

透過X射線檢測器：NaI（Ti）晶體

X射線導管：單毛細管 10μm / 100μm 無濾光片

光學圖像：樣品整體光學像及共軸放大圖像

樣品臺尺寸：XY：100mm×100mm

樣品倉：全真空模式/ **真空 300mm×300mm×80mm

信號處理：數值脈沖處理器（INCA處理器 ）

定性分析：自動定義譜峰/ KLM線標注/ 譜峰查找/ 譜峰匹配

定量分析：無標樣基本參數法/ 標準無標樣基本參數法/ 標準文件匹配基本參數法/ 校正曲線/ 多層膜基本參數法/ 多點分析（*多5000）/ 多點結果輸出至Excel®

面掃描功能：透過X射線像/ 元素面分布圖/ 譜圖面掃描 /矩形面掃描/ 生成譜圖/ RGB合成/ 標尺/ 線分析

其它功能：可同時開啟XGT-5200操作軟件