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法國phasicssid4系列波前傳感器

-----四波橫向剪切干涉波前傳感器

產品介紹：法國phasics 的波前分析儀（上海屹持光電代理），基于其波前測量**——四波橫向剪切干涉技術（4-wave lateral shearing interferometry）。作為夏克-哈特曼技術的改進型，這種獨特的**技術將超高分辨率和超大動態(tài)范圍有效結合在一起。任何應用下，其都能實現(xiàn)全面、簡便、快速的測量。

主要應用領域：

1. 激光光束參數(shù)測量：相位（2d/3d），m2，束腰位置，直徑，澤尼克/勒讓德系數(shù)

2. 自適應光學：焦斑優(yōu)化，光束整形

3. 元器件表面質量分析：表面質量（rms，ptv，wfe），曲率半徑

4. 光學系統(tǒng)質量分析：mtf， psf， efl， 澤尼克系數(shù)， 光學鏡頭/系統(tǒng)質量控制

5. 熱成像分析，等離子體特征分析

6. 生物應用：蛋白質等組織定量相位成像

產品特點：

1. 高分辨率：*多采樣點可達120000個

2. 可直接測量：消色差設計，測量前無需再次對波長校準

3. 消色差：干涉和衍射對波長相消

4. 高動態(tài)范圍：高達500μm

5. 防震設計，內部光柵橫向剪切干涉，對實驗條件要求簡單，無需隔震平臺也可測試

型號參數(shù)：

四波橫向剪切干涉技術背景介紹

phasics四波橫向剪切干涉（上海屹持光電代理）：當待測波前經過波前分析儀時，光波通過特制光柵（圖1）后得到一個與其自身有一定橫向位移的復制光束，此復制光波與待測光波發(fā)生干涉，形成橫向剪切干涉，兩者重合部位出現(xiàn)干涉條紋（圖2）。被測波前可能為平面波或者匯聚波，對于平面橫向剪切干涉，為被測波前在其自身平面內發(fā)生微小位移發(fā)生微小位移產生一個復制光波；而對于匯聚橫向剪切干涉，復制光波由匯聚波繞其曲率中心轉動產生。干涉條紋中包含有原始波前的差分信息，通過特定的分析和定量計算梳理（反傅里葉變換）可以再現(xiàn)原始波前（圖3）。

圖1.特制光柵 圖2.幾何光學描述波前畸變

圖3. 波前相位重構示意圖

技術優(yōu)勢

1. 高采樣點：

高達400*300個采樣點，具備強大的局部畸變測試能力，降低測量不準確性和噪聲；同時得到高精度強度分布圖。

2. 消色差：

干涉和衍射相結合抵消了波長因子，干涉條紋間距與光柵間距完全相等。適應于不多波長光學測量且不需要重復校準，

3. 可直接測量高動態(tài)范圍波前：

可見光波段可達500μm的高動態(tài)范圍；可測試離焦量，大相差，非球面和復曲面等測。

圖4.測試對比圖 圖5. 消色差 圖6.高動態(tài)范圍測量

應用方向：

1.激光光束測量

可以實時測量強度相位（2d/3d）信息，zernike/legendre系數(shù)，遠場，光束參數(shù)，光束形狀m2等。

2光學測量

phasics波前傳感器可對光學系統(tǒng)和元器件進行透射和反射式測量，專業(yè)kaleo軟件可分析psf，mtf等

光學測量 透射式和反射式測量

3.光學整形：

利用phasics波前傳感器檢測到精確的波前畸變信息，反饋給波前校正系統(tǒng)以補償待測波前的畸變，從而得到目標波前相位分布和光束形狀。右圖上為把一束rms=1.48λ的會聚光矯正為rms=0.02λ的準平面波；右圖下為把分散焦點光斑矯正為準高斯光束。高頻率大氣湍流自適應需要配合高頻波前分析儀。

4.光學表面測量：

phasics的sid4軟件可以直接測量ptv， rms， wfe和曲率半徑等，可直接進行自我校準，兩次測量相位作差等。非常方便應用于平面球面等形貌測量。部分測量光路如右圖所示

5.等離子體測量

法國phasics公司sid4系列等離子體分析儀(plasma diagnosis)是一款便攜式、高靈敏度、高精度的等離子體分析儀器。該產品可實時檢測激光產生的等離子體的電子密度、模式及傳播方式。監(jiān)測等離子體的產生、擴散過程，以及等離子體的品質因數(shù)。更好地為客戶在噴嘴設計、激光脈沖的照度、氣壓、均勻性等方面提供優(yōu)化的數(shù)據(jù)支持。

附：夏克哈特曼和四波橫向剪切干涉波前分析儀對比表