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Fischione微束定點離子減薄系統1040

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上海微納國際貿易有限公司

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487

產品介紹

技術特色:

獨有聚焦微束惰性氣體離子束
低修復電壓:50 eV
聚焦束斑直徑:1μm
定位精度高,去除非晶層且不產生再沉積現象
采用氬離子束激發二次電子成像同時實現修復及定位
離子束可以對準定點位置或在一個選定的區域進行進行精細修復
配備液氮冷臺,去除熱損傷

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