粉體行業在線展覽
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W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統
直接聯系
上海鉑世光半導體科技有限公司
上海
面議
鉑世光
W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統
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| 系統特點： |
| ·采用方位換向對稱方式微波耦合，來提高微波的均勻性 |
| ·穩定沉積面積20cm2 |
| ·**功率達到6KW |
| ·使用純凈的石英窗 |
| ·采用不銹鋼反應腔，能耐高溫 |
| 設備的優勢： |
| ·反應可控，能長時間穩定工作在6KW |
| ·所有電子設備中采用微波，沒有電極放電，沒有金屬污染 |
| ·高功率高密度等離子體穩定在離石英窗一定位置，減少硅的析出 |
| ·參照C/H/O比例表，對反應物有更大的選擇余地 |
