粉體行業在線展覽
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W-380A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統
直接聯系
上海鉑世光半導體科技有限公司
上海
面議
鉑世光
W-380A-10K 微波等離子化學氣相沉積系統
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| 系統特點： |
| ·采用方位換向對稱方式微波耦合，來提高微波的均勻性 |
| ·穩定沉積面積44cm2/80cm2 |
| ·**功率達到8KW/10KW |
| ·使用純凈的石英窗 |
| ·采用特殊鋁合金反應腔，能耐高溫（碟形） |
| ·高壓力控制，產生高密度多模式等離子體（碟形） |
| ·使用高精度氣體質量流量計，高可靠性穩定的壓力控制系統 |
| ·穩定的微波輸入 |
| 設備的優勢： |
| ·反應可控，能長時間穩定工作在8KW/10KW |
| ·所有電子設備中采用微波，沒有電極放電，沒有金屬污染 |
| ·參照C/H/O比例表，對反應物有更大的選擇余地 |
| ·采用高效散熱的樣品臺，**散熱能力可達20KW以上 |
| ·高效率微波利用率，氫等離子體直接作用于樣品臺加熱時效率可達75%以上 |
| ·高可靠性，高實驗重復性，高設備耐久性 |
| ·簡捷的人機交互界面 |
| 應用： |
| ·寶石 |
| ·復合熱沉片 |
| ·精密加工刀具刀頭 |
| ·紅外光學窗口 |
| ·半導體wafer |
| ·生物電極 |
