粉體行業在線展覽
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KMPR為負性光刻膠,用作DRIE蝕刻掩膜實現高深寬比的圖案,它還被廣泛用作MEMS與生物器件的電鍍模具。因為KMPR減少了Cross-link密度,在Hard baked之前,KMPR比SU-8更容易剝離。KMPR負性光刻膠可在任何(PGMEA),或(TMAH)的顯影劑中得到顯影。
KMPR 1000系列的特性
1)臨時或**的應用程序
2)膜厚:2-75 um
3)兼容標準水性顯影劑
4)高寬比成像和垂直側壁,深寬比:>5:1
5)單一旋途可達100微米
6)減少開裂
7)優異的金屬粘附性
8)優異的電鍍膜液穩定性
相關溶液:
顯影液:SU-8 Developer
去膠液:Remover PG
增附劑:OmniCoat
一般儲存溫度:
-10°C