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DJ MicroLaminates成立于二零零九年,以銷售電子光刻膠材料技術,并提供產品開發,工藝開發服務和市場開發活動。由DJ MicroLaminates開發的產品有針對性的技術,以滿足先進的MEMS制造和晶圓級封裝的需求。 DJ MicroLaminates目前開發的光刻膠干膜(TDFS),是層壓板預切晶圓或基板尺寸。 SUEX TDFS 是感光厚環氧樹脂片,應用于晶圓級封裝和MEMS。該片材由兩個被剝離的聚酯薄膜保護層(PET)中間包含的陽離子固化改性環氧樹脂的光阻構成。環氧樹脂的光阻中含有無銻的光酸生成劑,并在一個嚴格控制的無溶劑的過程中制備,它能提供均已的涂層。該方法應用于負性光阻的開發,該種光阻對在350-400nm的范圍內的紫外線輻射敏感。 DJ MicroLaminates提供的產品是SUEX, SUEX Plus,以及ADEX系列的環氧樹脂負性光刻膠干膜,厚度范圍在5微米至超過1mm內。干膜很容易層壓在基板表面,并可在幾分鐘內預備使用。
SUEX適合并且與以下物質有良好的粘合性:硅,氮化硅,銅,金,玻璃,聚合物和其它金屬和氧化物。
標準厚度:
100um,150um,200um,250um,350um,500um,650um,750um和1mm
一般儲存溫度:
使用之前,應在21℃至25℃溫度中存放15-18小時,這樣為**效果,并易于加工。
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻膠
1)總處理時間:小于5分鐘
2)**的厚度均勻性,邊緣無光
3)高熱穩定性-高韌性
4)無銻化學環境,無材料浪費
選擇干膜的優勢
1)無需昂貴的勻膠和烘膠設備
2)對Fab環境要求較低
3)整片晶圓上厚度均勻
4)無需去邊工藝
5)100%平坦化(真空壓膜)
6)膠膜內部成份分布均勻
7)適合UV和X射線曝光
8)高透過率
9)生產過程中減少了溶劑使用
10)綠色環保