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MDPinline是一種用于快速定量測(cè)量載流子壽命并集成掃描功能的檢測(cè)儀。通過(guò)工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，就可以“動(dòng)態(tài)”測(cè)量出晶圓圖。

優(yōu)勢(shì)介紹：一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測(cè)試，在不到一秒內(nèi)就能形成單個(gè)硅片的二維圖像。

該儀器本身不使用機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，因此在連續(xù)操作下也非常可靠。它為每個(gè)晶圓片提供完整的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止無(wú)可比擬的。例如，在不到3個(gè)小時(shí)的時(shí)間內(nèi)，對(duì)10000個(gè)晶圓片的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)進(jìn)行自動(dòng)統(tǒng)計(jì)評(píng)估，結(jié)果可以顯示出晶體生長(zhǎng)爐的性能和材料質(zhì)量的各種細(xì)節(jié)。

實(shí)時(shí)的質(zhì)量檢測(cè)可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴(kuò)散和鈍化等處理步驟。在運(yùn)行的生產(chǎn)過(guò)程中，MDPinline可以立即檢測(cè)到某個(gè)處理步驟的任何故障，從而使產(chǎn)品達(dá)到的性能。

優(yōu)勢(shì)介紹

◆ 在不到一秒的時(shí)間內(nèi)，可對(duì)一個(gè)晶圓片進(jìn)行全電特性測(cè)試。測(cè)量參數(shù)：載流子壽命(拓?fù)鋱D)、電阻率(雙線掃描)。

◆在非常短的時(shí)間內(nèi)獲得數(shù)以千計(jì)的晶圓片的統(tǒng)計(jì)信息可有效地幫助晶圓廠控制過(guò)程和生產(chǎn)。

◆適用于測(cè)量晶圓片的材料質(zhì)量，以及識(shí)別晶圓片層面的結(jié)晶問(wèn)題，例如在光伏行業(yè)。

◆適用于擴(kuò)散過(guò)程的完整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術(shù)參數(shù)

其它細(xì)節(jié)

· 允許單片控制

· 參數(shù)自動(dòng)設(shè)置，預(yù)定義的排序菜單

· 多達(dá)15個(gè)質(zhì)量等級(jí)的晶圓片自動(dòng)分揀

· 監(jiān)控材料質(zhì)量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線