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儀器簡介：

應用：

◆硅料

◆太陽能

◆集成電路制造等

技術參數(shù)：

Semilab SDI設備主要用于硅片體內(nèi)的少數(shù)載流子壽命（擴散長）的監(jiān)測及定量定性檢測影響少數(shù)載流子的壽命（擴散長）的金屬污染（鐵、銅等）含量。設備由光路系統(tǒng)、信號分析及處理系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)及自校準系統(tǒng)（設備內(nèi)建有標準片）組成。

主要特點：

◆SPV(表面光電壓)- 硅片表面不需要做鈍化處理即可以做少數(shù)載流子壽命測試；

◆Surface Lifetime- 硅片淺層的少數(shù)載流子壽命檢測；

◆Surface Recombination – 硅片的表面復合測試；

◆SPV(表面光電壓)- 可測試硅片體內(nèi)的Fe及B02的含量；

◆設備的Multiple wafersize 功能可以兼容測試100mm-300mm的硅片及硅棒。